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材料外延平台

      材料外延平台聚焦于第三代半导体材料的MOCVD外延,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,主要从事蓝宝石衬底和Si衬底上的光电器件(蓝光-紫外波段)和电子器件研发。

      材料外延平台配有Crosslight APSYS模拟软件,可以为外延生长提供器件结构设计指导;拥有Aixtron CRIUS-I 31×2" CCS MOCVD和Aixtron 3×2" HT-MOCVD(表面1450度)设备两台,配备EpiTTCurve和Argus原位监测系统,可支撑全组分AlInGaN材料的MOCVD外延;配有检测分析设备数十台,可满足绝大多数材料和器件特性的表征需求。

      材料外延平台研發團隊由畢業于名古屋工業大學、新加坡國立大學、清華大學、北京大學、中山大學和華南師範大學等國內外知名科研機構的研究人員組成,具有豐富的外延經驗,已承擔國家重點研發計劃、國家自然科學基金、廣東省科技計劃項目多項,在AlN和GaN材料和器件外延等方面取得一系列突破性進展。

      我們真誠歡迎致力于材料外延工作的同行與我們交流合作,也歡迎優秀的科研工作者加入我們。