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微納加工平台

     廣東省半導體産業技術研究院微納加工平台,拥有半导体器件制备工艺研发所需的整套儀器設備,建立了一条实验室研发线和一条中试线,加工尺寸覆盖2-6英寸。并形成了与之基本能有机结合的人员队伍,使平台处于较高的工艺水平和稳定的运转状态,这为依托平台高质高效开展产业技术研发和行业支撑服务提供了保障。

     本平台主要进行氮化物半导体器件的制备与工艺研究。同时还向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务。

     微納加工平台主要进行氮化物半导体器件的制备与工艺研究,同时将对氮化物半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持,立足行业,回馈社会,本平台将秉承“专业、稳定、高效、合作共赢”的理念,为广大科研单位和企业提供高品质服务。

     主要服务内容包括:氮化物半导体器件开发以及材料的清洗、光刻、刻蚀、镀膜、退火等工艺设计与研究。

     本平台对外服务不到两年的时间内,为行业提供委托加工服务近百次,为行业解决技术难题,提供稳定工艺支撑,收到了行业内的一直好评。