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儀器設備

Instrument and equipment

光刻机
光刻机   

光刻机 设备名称:光刻机 设备厂商:美国ABM公司 工作原理:将设计的掩模图形通过光刻机曝光转移 到涂有光刻胶的晶片上。 用途:光刻胶的图形化 …

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HT-MOCVD
HT-MOCVD   

HT-MOCVD 我院采用的HT-MOCVD设备是德国爱思强(Aixtron)公司生产的CCS 3×2" FT MOCVD系统,是国内第一台实验型超高温MOCVD系统,托盘表面…

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CRIUS MOCVD
CRIUS MOCVD   

CRIUS MOCVD CRIUS MOCVD(金属有机化学气相沉积),是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,以有机化合物和氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外…

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合金炉
合金炉   

合金炉 设备名称:合金炉 设备厂商:金立盾 工作原理:将材料快速加热到一定温度并维持长时间高温 用途:长时间的合金工艺,如ITO合金工艺以及p-GaN激…

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电阻蒸发台
电阻蒸发台   

电阻蒸发台 设备名称:电阻蒸发台 设备厂商:北京泰科诺 工作原理:将蒸发材料加热到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的薄膜。 用途:蒸发…

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磁控溅射台
磁控溅射台   

磁控溅射台 设备名称:磁控溅射台 设备厂商:美国科特 工作原理:高能粒子撞击具有高纯度的靶材固定平板,通过物理过程轰击出原子,这些被撞击出的原子穿过真空,最后淀积在样品…

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金属电子束蒸发台
金属电子束蒸发台   

金属电子束蒸发台 设备名称:金属电子束蒸发台 设备厂商:美国德仪 用途:蒸发Ti,Al,Ni,Cr,Pt,Au,Ag、Mo等金属 技术指标: …

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金属电子束蒸发台
金属电子束蒸发台   

金属电子束蒸发台 设备名称:金属电子束蒸发台 设备厂商:台湾聚昌 工作原理:电子束斑聚焦到蒸发材料表面,使局部达到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的金属薄膜。…

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ITO电子束蒸发台
ITO电子束蒸发台   

ITO电子束蒸发台 设备名称:ITO电子束蒸发台 设备厂商:台湾聚昌 工作原理:电子束斑聚焦到介质材料表面,使局部达到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,同时增加离子…

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XRD
XRD   

XRD 设备名称:高分辨X射线衍射仪(XRD) 设备型号:Smartlab9kW 设备厂商:日本理学RIGAKU 设备介绍: 基本原理:X射线与晶体相遇时,若满足布拉格方程,…

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原子力显微镜
原子力显微镜   

原子力显微镜 设备名称:原子力显微镜(AtomicForceMicroscopy) 设备型号:DimensionEdge 设备厂商:美国Bruker 设备介绍: 基本原理:通过探测微细针尖和…

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变温PL系统
变温PL系统   

变温PL系统 设备名称:变温PL系统(CryogenicPhotoluminescenceMeasurementSystem) 设备型号:iHR550 设备厂商:法国HORIBAJobinYvon 设备…

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