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檢測分析設備

Detection and analysis equipment

金屬電子束蒸發台

設備名稱:金屬電子束蒸發台

設備廠商:台灣聚昌

工作原理:電子束斑聚焦到蒸發材料表面,使局部達到蒸發或升華溫度,蒸發出來的原子沈積在基片表面,形成致密的金屬薄膜。

用途:蒸發Ti,Al,Ni,Cr,Pt,Au,Ag、Mo等金屬

技術指標:

樣品尺寸:67*2英寸、20*4英寸、7*6英寸

基板加熱溫度:室溫-250℃,控溫精度1℃

极限真空:2×10-7 torr

蒸發均勻性:<±5%

工藝特點:

一爐可以依次蒸鍍6鍾不同金屬;

可以蒸鍍高熔點金屬Pt、W等