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芯片設備

Chip equipment

電阻蒸發台

设备名称:電阻蒸發台

設備廠商:北京泰科諾

工作原理:將蒸發材料加熱到蒸發或升華溫度,蒸發出來的原子沈積在基片表面,形成致密的薄膜。

用途:蒸發有機物/熔點低的金屬薄膜/厚度較大的金屬薄膜


技術指標:

1. 样品尺寸:6英寸及以下

2. 真空极限:优于2.0*10-4Pa

3.兩組蒸發源,可順序蒸發兩種材料