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芯片設備

Chip equipment

合金爐

设备名称:合金爐

設備廠商:金立盾


工作原理:將材料快速加熱到一定溫度並維持長時間高溫

用途:長時間的合金工藝,如ITO合金工藝以及p-GaN激活工藝等。



技術指標:

工作温度: 200-1000℃可调,控温精度1℃

恒溫區長度:600mm

3. 单点温度稳定性、重复性:±1℃/24h

4. 斜变能力:升温速率15℃/min,降温速率:5℃/min

5.反應氣氛;N2、O2